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AFC质量流量控制器

被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态,因此两个管路流量比是恒定的。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。

测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量,输出0…5 V D C或者4…20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀,质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统,使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。

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特点:

坚固金属铸造 ,最大压力可达1000paig(70bars) ,0-5Vdc或者4-20m A 信号 ,泄露率小于1×10-9 SCCM ,±1%满量程 ,可选累积器 ,电源保护。


技术参数

精确度:(包括线性度)  15℃到25℃和5-60psia±1 %满量程
                      0℃到50℃和5-150psia ±2 %满量程
                      特殊温度和压力需要特殊校准
重复性:              ±0.15%满量程
响应时间:            设定点在满量程的20%-100%时,0.6-1.0秒内达到±2 %精度
温度系数:            小于0.05%满量程/℃
压力系数:            小于0.01%满量程/psi(0.07bar)
推荐气体压力:        25 psig(1.73bar)
最大气体压力:        1000 psig(70bar)
最大压差:            DFC2600和DFC3600 50psi(3.4 bar)DFC4600 40 psi(2.8 bar)
气体和环境温度:      41℉-122℉(5℃-50℃)
通讯接口:            标准RS485, 可选RS232
输出信号:            线性度0-5VDC,(最小负载电阻2000ohms)
                      0-10VDC, (最小负载电阻4000ohms)
                      0-10mA 可选(回路电阻0-500 ohms)最大噪音干扰±20mV峰值
电源保护:            电路板有内置极性保护电路。保险丝提供电源输入保护
接液材质:            316不锈钢、416不锈钢、铜和Viton ® O型圈 可选氯丁橡胶O型圈。
方位灵敏度:          水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置
连接:                DFC26:1/4" 卡套螺纹
                      DFC36:1/4"卡套螺纹
                      DFC4600:标准 3/8 " 卡套螺纹
                      可选1/8" 或3/8" 卡套螺纹或1/4" VCR ®
电源:                ±15 VDC 450mA最大电流
校准选项:            标准10点NIST校准 可选10种气体标定数据 (另收费)

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